于半導體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴展電阻。

　　電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便，度高，對樣品的形狀無嚴格要求。

　　常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。

　　一般目前的四探針電阻率(電導率)測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數值的設置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。

　　四探針法通常用來測量半導體的電阻率。四探針法測量電阻率有個非常大的優點，它不需要校準;有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法校準。

　　與四探針法相比，傳統的二探針法更方便些，因為它只需要操作兩個探針，但是處理二探針法得到的數據卻很復雜。如圖一，電阻兩端有兩個探針接觸，每個接觸點既測量電阻兩端的電流值，也測量了電阻兩端的電壓值。我們希望確定所測量的電阻器的電阻值，總電阻值:

　　RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;

　　其中RW是導線電阻，RC是接觸電阻，RDUT是所要測量的電阻器的電阻，顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點接觸法，即四探針法。如圖二，電流的路徑與圖一中相同，但是測量電壓使用的是另外兩個接觸點。盡管電壓計測量的電壓也包含了導線電壓和接觸電壓，但由于電壓計的內阻很大，通過電壓計的電流非常小，因此，導線電壓與接觸電壓可以忽略不計，測量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

　　通過采用四探針法取代二探針法，盡管電流所走的路徑是一樣的，但由于消除掉了寄生壓降，使得測量變得了。四探針法在Lord Kelvin使用之后，變得十分普及，命名為四探針法。