硅片四探針電導率測試儀操作方法

硅片四探針電導率測試儀操作方法

 電阻率所針對的對象是導電或電阻材料，一般是通過測定特定形狀的材料電阻

值后計算得出。對于功能器件一般只測量其電阻值。而環境（溫度、濕度、氣氛）

或材料狀態對電阻或電阻率的影響測量則一般是將材料或器件放于特定的環境之

中，通過改變環境參數測定電阻或電阻率的變化。上述所有操作歸結為一點，即電

阻的測量。由于目前還沒有不使用電而間接測量電阻的方法，因此電阻與其它

物理參數測量相比的zui突出特點是必須將被測材料或器件連接在電路之中，電路之

中的導線、導線接頭或器件觸點接觸電阻、測量儀表的內阻以及與被測電阻間的連

接關系，阻值比例等多種因素都會對影響測量結果的度。在許多情況下，測量

誤差是不可忽略的。

硅片四探針電導率測試儀操作方法

1.方塊電阻范圍：10^-3～2×10³Ω/□

2.電阻率范圍：10^-4～2×10⁴Ω-cm

3.測試電流范圍：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.3%讀數

5.電阻精度：≤0.5%

6.顯示讀數：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式: 普通單電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）

10.選購功能: 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺

11.測試探頭：   探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針

選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.